[發明公布] 一種多晶硅生產中原料混合氯硅烷節能回收工藝
- 申請公布號:CN103466634A
- 申請公布日:2013.12.25
- 申請號:2013103936875
- 申請日:2013.09.03
- 申請人:新特能源股份有限公司
- 發明人:張偉;
張吉武; 陳朝霞; 陳喜清
-
- 地址:830011新疆維吾爾自治區烏魯木齊市500甘泉堡工業園
- 分類號:C01B33/107(2006.01)I; C01B33/03(2006.01)I 全部
- 專利代理機構:北京中恒高博知識產權代理有限公司11249
- 代理人:夏晏平
摘要: 本發明涉及節能技術領域,為了在多晶硅生產中降低成本,節約能源,充分利用尾氣中混合氯硅烷,本發明提供的技術方案為從解析塔塔釜采出的100-150℃高溫氯硅烷與換熱器冷媒進行換熱,獲得70-115℃等于或稍低于泡點溫度的混合氯硅烷,然后分別依次在解析塔壓力和循環氯硅烷緩沖罐壓力作用下送入循環氯硅烷緩沖罐和精餾塔,進行純化,本發明避免了從解析塔采出后的過度降溫和在精餾塔中再補充加溫,節約了能源,降低了生產成本,并且具有節約蒸汽用量20%,及工藝簡單,操作容易等有益效果。