通遼科技大市場暨內蒙古東部常設技術市場
能夠充入氮氣的半導體智能倉儲
[實用新型] 能夠充入氮氣的半導體智能倉儲
- 授權公告號：
- CN220555482U
- 授權公告日：
- 2024.03.05
- 申請號：
- 2023214743362
- 申請日：
- 2023.06.10
- 專利權人：
- 蘇州艾斯達克智能科技有限公司
- 發明人：
- 沙偉中
- 地址：
- 215000江蘇省蘇州市蘇州高新區泰山路2號和楓產業園中試創業基地A棟101室
- 摘要：
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本實用新型公開了一種能夠充入氮氣的半導體智能倉儲，該智能倉儲包括一個密封的倉儲空間、一個氣體排出通道、一個外部氮氣補入裝置、一個監控裝置和一個安全裝置。該智能倉儲能夠將倉儲空間內的空氣排出并充入純凈的氮氣，以防止存放在其中的半導體晶圓片被氧化，提高晶圓片的質量和壽命。該智能倉儲還能夠監控和調節倉儲空間內的氮氣含量、溫度和壓力，并在發現異常時發出報警信號和關閉相應的裝置，以保障倉儲空間的安全性和人員的健康。該智能倉儲還設有多個晶圓片存放架和一個堆垛機，以實現晶圓片的分層存放和自動化入庫和出庫。
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蒙公網安備 15050202000321號
