本申請公開了一種半導體測試系統,包括測試箱,包括第一腔室和第二腔室,第一腔室內設置有測試控制模塊,第二腔室中空;驅動件,固定于第二腔室內;溫調組件,包括熱敏頭、第一溫度傳感器和第二溫度傳感器,熱敏頭與驅動件朝向測試箱底部的一側連接,第一溫度傳感器用于測量熱敏頭的溫度,第二溫度傳感器用于測量與熱敏頭接觸的待測芯片的溫度;其中,待測芯片位于第二腔室的底部,當測試控制模塊獲得測試指令后,控制熱敏頭的溫度變化至第一設定溫度,進而控制驅動件帶動熱敏頭向待測芯片移動接觸待測芯片,從而調整待測芯片的溫度。通過上述方式,能夠對待測芯片進行溫度測試。
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