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              半導體測試系統
              發布日期:2024/3/25 9:56:47
              查看次數:
              【字體:

              [實用新型] 半導體測試系統

              授權公告號:
              CN220650818U
              授權公告日:
              2024.03.22
              申請號:
              2023206441854
              申請日:
              2023.03.28
              專利權人:
              蘇州通富超威半導體有限公司
              發明人:
              梁聰;嵇康;朱軍;郭瑞亮
              地址:
              215000江蘇省蘇州市工業園區蘇桐路88號
              摘要:

              本申請公開了一種半導體測試系統,包括測試箱,包括第一腔室和第二腔室,第一腔室內設置有測試控制模塊,第二腔室中空;驅動件,固定于第二腔室內;溫調組件,包括熱敏頭、第一溫度傳感器和第二溫度傳感器,熱敏頭與驅動件朝向測試箱底部的一側連接,第一溫度傳感器用于測量熱敏頭的溫度,第二溫度傳感器用于測量與熱敏頭接觸的待測芯片的溫度;其中,待測芯片位于第二腔室的底部,當測試控制模塊獲得測試指令后,控制熱敏頭的溫度變化至第一設定溫度,進而控制驅動件帶動熱敏頭向待測芯片移動接觸待測芯片,從而調整待測芯片的溫度。通過上述方式,能夠對待測芯片進行溫度測試。

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